技术优势   Technical advantages

      硅烷有多种制法,目前主流的生产工艺有:硅镁合金法工艺(Komatsu 硅化镁法);氯硅烷歧化工艺(Union Carbide 歧化法);金属氢化物工艺(MEMC公司发明的新硅烷法)三种。上海交通大学肖文德教授以多功能反应技术完善了UCC工艺,在光明棋牌下载公司应用获得 成功,其反应式为:

  Si+HCl----------- SiHCl3

  SiHCl3-----------SiCl4+ SiH2Cl2

  SiH2Cl2----------SiHCl3+ SiH3Cl

  SiH3Cl-----------SiH4+ SiH2Cl2

  该技术完善了UCC工艺中存在的三氯氢硅转化效率低的不足,将其转化率提升到99%以上水平,使我国生产高纯硅烷技术走到了世界前列。