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硅烷广泛应用于微电子、光电子工业

发布时间:2016-12-27 09:38:33 已浏览:2800次

   硅烷广泛应用于微电子、光电子工业,可用于制造高纯度多晶硅、单晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、异质硅、各种金属硅化物,先进陶瓷、先进材料等新应用还在不断出现。纯度5N及以下称为工业级硅烷,主要用于玻璃镀膜(与乙烯制成混合气)制造高级建筑及轿车等的节能玻璃、单向透光玻璃及中小规模集成电路。纯度6N及以上称为电子级硅烷,主要用途为:(1)光伏电池(晶硅电池氮化硅减反射膜及非晶硅薄膜电池);(2)平板显示器行业(LCD的TFT或LTPS基底沉积等);(3)半导体行业(集成电路或分立器的二氧化硅薄膜、氮化硅钝化薄膜、硅晶体外延等);(4)规模化生产电子级多晶硅;(5)高纯碳化硅、氮化硅微粉等新材料领域。模化生产电子级多晶硅;(5)高纯碳化硅、氮化硅微粉等新材料领域。